最近,日立公司在“μ-Chip”的基础上,进一步开发出体积更小的电子标签产品Powder。由于这种芯片的大小为0.05毫米×0.05毫米×0.005毫米,比在上次使用过的“μ-Chip”小64倍,可嵌入纸张内,日立公司希望利用这种微型芯片在打击假冒伪劣产品中大显身手。
由于该电子标签体积小,因而每个硅圆片可获得400万个微型芯片。该微型芯片内的存储器的光刻采用了先进的电子束光刻机,这不仅可提高器件的集成度,而且所生产的存储器可在400℃高温下确保较高的可靠性。此外,在生产中不需采用传统的掩膜工艺技术,只需将独特的ID设计图嵌入存储器即可,这也使得有望大大降低生产成本。
日立公司今后还计划进一步采用65纳米节点工艺,甚至将来会过渡到32纳米工艺,用于制造12微米见方的电子标签。目前,制约大量使用电子标签的瓶颈是如何降低其成本,解决这一问题后,低成本的电子标签将在防伪和打假方面起到重要作用。