工厂建成后，用于半导体制造的机器人的产能将增加60%。由于物联网(IoT)越来越受到关注，川崎重工业认为传感器等半导体的需求会随之扩大，将加强供给体制。
川崎重工业将增产在无尘车间内搬运半导体晶圆的无尘机器人。把现在每月800台的产能提高60%，提高至每月1300台。目前已经建设了2栋厂房，总建筑面积约2.6万平方米。今后还将导入制造无尘机器人所需的无尘车间等，预定工厂2018年3月底前投入运行。
目前川崎重工业在明石工厂(兵库县明石市)生产无尘机器人，今后将转移到制造油压设备的西神户工厂，以扩大产能。这将成为川崎重工业在日本国内的第2个机器人工厂。
川崎重工业是全球最大无尘机器人制造商，按数量计算约占全球份额50%。由于半导体厂商不断从汽车和家电行业接到订单，投资意愿正在提高，该公司的无尘机器人2016年度销售额有望创历史新高。
随着半导体需求增加，半导体制造设备相关企业开始进行设备投资。堀场制作所将投入约22亿日元，加强熊本县的工厂，将用于半导体制造设备的零部件产能增加70%。此外，荏原也决定投入约68亿日元，增产半导体制造相关设备。
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